■海外仕様 ドライ真空ポンプ（加圧減圧両用ダイアフラム型） 33.3kPa - ULVAC
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●排気速度（L/min）：30/36（50/60Hz）
●到達圧力（kPa）：33.3
●加圧：0.15MPa（ゲージ圧）
●吸排気口：（OD）φ9×（ID）φ5mm
●電源： 1φ220V
●接ガス部材質：ポンプヘッド／PPS（ポリフェニレンサルファイド）、吸排気弁／SUS、ダイアフラム／CR
●サイズ：142×215×180mm
●重量：5kg
●サーマルプロテクター内蔵
●加圧減圧両用ダイアフラム型
●原産国：日本
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