■海外仕様 ドライ真空ポンプ 5.33kPa - ULVAC
SKU : 1-671-06-90
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●排気速度（L/min）：20/24（50/60Hz）
●到達圧力（kPa）：5.33
●吸気口径（OD）×（ID）mm：9×5
●サーマルプロテクター内蔵
●電源：1φ220V 50/60Hz
●サイズ（mm）：118×242×178
●重量（kg）：7.2
●接ガス部材質：ポンプヘッド／アルミダイキャスト、吸排気弁／SUS、ダイアフラム／耐熱NBR（ニトリルゴム）
●※アンローダーバルブ（ダイアフラム型ドライ真空ポンプを止めた際、ポンプヘッド内部に大気を素早く導入し、ポンプヘッドと外側の差圧を無くす機構です）がオプションです。●原産国：日本
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