■海外仕様 ドライ真空ポンプ 6.65kPa - ULVAC
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●排気速度（L/min）：12/15（50/60Hz）
●到達圧力（kPa）：6.65
●吸気口径（OD）×（ID）mm：9×5
●サーマルプロテクター内蔵
●電源：1φ220V 50/60Hz
●サイズ（mm）：135×203×182
●重量（kg）：3.9
●接ガス部材質：ポンプヘッド／アルミダイキャスト、バルブ／フッ素ゴム、ダイアフラム／NBR（ニトリルゴム）
●原産国：日本
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